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INFICON真空测量
INFICON SKY CDG045D真空计
INFICON SKY CDG045D真空计

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产品详情

INFICON CDG045D SKY电容膜片真空计

 

INFICON SKY CDG045D真空计是高精度总压强测量和控制的最佳选择。为达到优异的讯号稳定性和可重复性,将CDG045D真空计的温度控制于45度。全量程范围从100毫乇至1000乇,配有全部常用的法兰型式和fieldbus接口,和提供线性的010伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好,从大气压恢复快,预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量,成本效益好的压强传感器,用于要求高的各项真空应用中。

优越性:

1、低CoO(拥有成本)50快速预热,能效高,功耗低

2、易整合于系统中,宽量程范围,法兰和接口,标准型号带两个设点

3、简易的一键操作或遥控讯号调零指令,零点偏离可调

4、诊断端口用于快速维修和维护

5、两年保修期,采用先进的加热概念和传感器保护,真空计使用寿命长

6、由于卓越的讯号稳定性和可重复性,即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用,无需重复校准

7、符合标准:CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途:

1、  刻蚀,CVD,PVD和其它半导体生产过程

2、  化学和腐蚀性真空过程

3、  常用薄膜和真空过程

4、  用于按国际标准检测测试仪器的参考传感器

5、  用于跟踪性测量的传输标准

 
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